PVD povlakovanie kovových pásov

Mnoho výrobcov povlakov hľadá nové metódy a technológie povlakovania, ktoré sú šetrnejšie k životnému prostrediu a aj ekonomickejšie. Vývoj nízkonákladových PVD procesov je základná požiadavka na použitie týchto vrstiev pre vylepšenie vlastnosti povrchov veľkých plôch.
Príspevok má za cieľ poslúžiť ako prehľadový článok nových trendov a vývoja depozičných metodík a technológií v oblasti PVD povlakov pre kovové pásy. Jednou z prezentovaných metód je PVD technológia pre kontinuálne povlakovanie kovových pásov, ktorá predstavuje cestu ku rozšíreniu v priemysle i pre aplikácie s vysokým výkonom.
Vákuové technológie, kam patria i technológie fyzikálnej depozície povlakov (PVD) umožňujú povlakovanie väčších plôch pri vysokých rýchlostiach v priemyselných podmienkach. Deponovaný môže byť široký rozsah materiálov ako kovy, zliatiny odlišného zloženia; možno vytvárať vrstvy adhézne, rovnako ako gradientné a metastabilné pri nízkej spotrebe materiálu. PVD patrí k štandardným technológiám povrchového inžinierstva pričom umožňuje zvýšiť povrchovú tvrdosť, znížiť trenie a zvýšiť teplotnú odolnosť materiálov.
V súčasnosti sa využíva široké spektrum PVD povlakov, ktoré sa s vývojom nových technológií a požiadaviek trhu neustále rozširuje. Povlaky získané fyzikálnou depozíciou z pár kovu alebo zliatiny na povrch namáhaných súčastí, spĺňajú podmienky zachovania dostatočnej kvality počas jej aplikácie v praxi za predpokladu, že je povlakovaný systém – povlak – substrát – pripravený kvalitne a spĺňa požiadavky naň kladené [1]. Povlaky obvykle dosahujú hrúbku od 0,001 až do 0,005 mm, čím zásadne neovplyvňujú rozmery a obvykle je povlakovanie konečná operácia na hotovom výrobku. V poslednej dobe vyvinuté technológie, najmä plazmou aktivované procesy, otvorili nové možnosti pre nové aplikácie. Nové viacvrstvové povlaky produkované PVD technológiami predstavujú vynikajúci doplnok k existujúcim produktom. Náklady na depozíciu sú dostatočne nízke v porovnaní s konkurenčnými technológiami [2]. Výhodou PVD environmentálnej technológie je veľké množstvo vhodných materiálov na povlaky, ktoré môžu byť kovové, dielektrické alebo kombinované, s možnosťou vytvárania systémov podľa požiadaviek na špeciálne aplikácie. Okrem toho vlastnosti vrstvy môžu byť vylepšené aktiváciou rôznych druhov plazmy pri procese depozície elektrónovým lúčom.
Tenké vrstvy a systémy vrstiev môžu byť deponované na rôznom substráte napr. páse oceľovom, pozinkovanej oceli, hliníku, skle, plaste, papieri. Trendom je odklon od kovových k nekovovým povrchom, ako sú plasty a kompozity, ktoré majú byť povlakované. V priemysle sú zjavné silné trendy smerom k aplikácii nekovov v automobilovom, leteckom a elektrotechnickom priemysle [3].
Okrem protikoróznej ochrany oceľových pásov, riešenie ďalších úloh týkajúcich sa povlakov sa stalo naliehavou záležitosťou, napr. optické povlaky, katalytické povlaky, ochranné povlaky a ďalšie funkčné povlaky na rôznych kovových pásoch napr. pozinkovaných, antikorových, medených a hliníkových. Príkladom aplikácii sú napr. aktívne fotokatalytické vrstvy oxidu titaničitého vytvorené počas kontinuálneho veľkoplošného povlakovacieho procesu kovových pásov. V solárnej tepelnej energetike, kde sa slnečná energia používa priamo na vykurovanie, chladenie a ohrev úžitkovej vody, medené alebo hliníkové pásy môžu byť kontinuálne povlakované absorpčnými filmami v zariadeniach typu „vzduch-vzduch“. Tieto vrstvy disponujú nízkou tepelnou emisiou, vysokou absorpčnou schopnosťou a súčasne je zlepšená odolnosť proti vonkajším vplyvom [4].
Povlak aplikovaný na skle v stavebníctve je aktívna forma ochrany životného prostredia. Hospodárenie budovy s teplom možno výrazne zlepšiť modernou technológiou zasklievania. Povlak reagujúci na slnečné žiarenie, môže napríklad znížiť množstvo svetla vstupujúceho do budovy. Na dosiahnutie tohto cieľa, titán, nehrdzavejúca oceľ alebo chróm sú separované tak, že to vedie k zvýšenej odrazivosti a absorpcii zasklenia. Naproti tomu, tepelné izolačné povlaky (low thermal emissivity – LowE), sa vyznačujú nízkymi emisiami tepla a obsahujú tenkú striebornú vrstvu. To umožňuje vysoký vstup slnečnej energie a slnečného žiarenia, ale takmer úplne zabraňuje strate tepla cez sklenené panely. Rozprašovacie procesy (Sputter processes) sa používajú predovšetkým v tejto oblasti.
Tieto nové požiadavky nemôžu byť splnené iba aplikáciou konvenčných povrchových úprav. Zdá sa, že významný progres, môže byť dosiahnutý inovačnými PVD/CVD technikami pri ich kombinácii s konvenčnými procesmi. Ide o kombináciu rôznych materiálov povlakov na oboch stranách pásov, povlaky s kovmi a keramikou, ktoré nie sú aplikovateľné elektropokovovaním [5], [6].
V rámci „kompletného PVD prístupu” kovový povlak sa na oceľový pás nanáša výhradne pomocou PVD technológie. V súlade s tým povlaky s hrúbkou rádovo niekoľko μm sú deponované naparovaním. Pri „kombinovanom PVD prístupe“ je oceľový substrát už opatrený povlakom zinkovým alebo povlakom zo zliatiny zinku aplikovaným konvenčne buď elektropokovovaním alebo žiarovým pozinkovaním. Prostredníctvom PVD technológie sú aplikované ďalšie tenké povlaky, kde typická hrúbka je rádovo niekoľko 100 nm. Preto môžu byť vlastnosti povlakov modifikované alebo obohatené o ďalšie funkčné vlastnosti. Tento prístup má tú výhodu, že vysoká účinnosť konvenčných procesov povlakovania je kombinovaná s vyššie uvedenou flexibilitou PVD z hľadiska dizajnu povlaku [5], [7].
Významnou výhodou aplikácie PVD procesov sú flexibilné a ľahko meniteľné produkty a fakt, že ide o ekologické procesy. V príspevku je prezentovaný prehľad o nových trendoch a vývoji v oblasti PVD povlakov pre kovové pásy. Článok poukazuje na skutočnosť, že PVD technológie pre kontinuálne povlakovanie kovových pásov sú na ceste k rozšíreniu v priemysle i pre aplikácie s vysokým výkonom.

POVLAKOVANIE KOVOVÝCH PÁSOV
PVD vrstvy predstavujú veľký potenciál pre vylepšenie povrchových vlastností celého radu komponentov, napr. rezné nástroje, tvárniace nástroje [8], [9], [10] ale prenikajú i do oblasti povlakovania kovových pásov. Vývoj nízkonákladových PVD procesov je základnou požiadavkou na použitie týchto vrstiev pre vylepšenie vlastnosti povrchov veľkých plôch. O kontinuálne nanášaných PVD povlakoch na kovových pásoch sa diskutuje už viacej rokov so snahou zaviesť ich do priemyselnej praxe. PVD ponúka možnosť pre vývoj nových systémov povlakov kovových pásov.

POVLAKOVANIE OCEĽOVÝCH PÁSOV
Ochrana proti korózii a zvariteľnosť povlakovaných oceľových pásov sú najdôležitejšie vlastnosti nových kovových a oxidických multivrstiev, ktoré sú v súčasnej dobe vyvíjané s ohľadom na automobilový priemysel. Vhodné ochranné systémy vrstiev, ktoré obsahujú multivrstvy zo zinku, horčíka a ich zliatin, ako aj od železa, chrómu, niklu, titánu a oxidov, musia byť deponované na oceľových pásov v modulárne koncipovaných povlakovacích linkách, aby sa zlepšila odolnosť proti opotrebovaniu a adhézia organických povlakov okrem ochrany proti korózii. Okrem toho, chrómatové a fosfátové procesy sú nahradzované oxidickými povlakmi [5].
Novým prístupom k vysoko korózne odolným povlakom je deponovanie PVD povlaku na konvenčne pozinkovaný oceľový pás. Odskúšanie takéhoto prístupu v kontinuálnej pilotnej linke s rýchlosťou až 60 m/min a šírkou pásu 300 mm a prvé výsledky vývoja povlaku prostredníctvom naparovania tenkých prídavných vrstiev rôznych kovov na už konvenčne pozinkovaný oceľový pás boli publikované v práci [7], [11]. PVD technológia pilotnej linky zahŕňa rôzne plazmové čistiace procesy, tepelnú evaporáciu pomocou radiačného ohrevu, ako aj elektrónovým lúčom. Budúci potenciál PVD povlakov zliatin zinku je však diktovaný cenou. Väčšina automobilových spoločností vykonáva pravidelné hodnotenia a analýzy zamerané na znižovanie nákladov. V súčasnej dobe je zaznamenaný trend prechodu od elektropozinkovaných, duplexných a železozinkových povlakov typu GA (galvanealed) povlakov na žiarovo pozinkované v súvislosti so zlepšovaním ich kvality. To nasvedčuje tomu, že z ekonomického hľadiska, PVD povlaky môžu byť na rovnakej úrovni a časom lacnejšie ako žiarovo pozinkované povlaky, a rozhodne lacnejšie ako elektrolyticky pozinkované plechy [11].

POVLAKOVANIE AL PÁSOV
Hliníková vrstva sa stala zaujímavá predovšetkým pre povlaky s reflexivitou za účelom dosiahnutia vyššej efektívnosti osvetlenia. Reflexné materiály (eloxovaný hliník s reflexivitou medzi 83 % a 85 %) sa nahrádzajú vysoko odrážajúcimi materiálmi, u ktorých sa dosiahne reflexivita viac ako 95 % vo viditeľnom pásme. Je známe, že odrážajúce substráty môžu byť povlakované systémami vrstiev, ktoré sú schopné zvýšiť ich reflexivitu [12]. Obr. 1 znázorňuje schému takého systému vrstiev a vývoj optických vlastností po každom kroku depozície. Substrát sa bežne skladá z valcovaného hliníkového pásu, ktorého povrch pred povlakovaním musí byť pripravený tak, aby sa dosiahlo zlepšenie povrchovej tvrdosti a veľmi nízka povrchová drsnosť. Existuje niekoľko možností zlepšenia vlastností povrchu:
– eloxovanie hliníkového substrátu,
– lakovanie hliníkového substrátu,
– povlakovanie hliníkového substrátu polymérom [5].

Obr. 1: Štruktúra a optické účinky multivrstiev zvyšujúcich reflexivitu [5]

Po prispôsobenej predpríprave povrchu zabezpečujúcej potrebnú priľnavosť optického multisystému musí byť prvá vrstva, nazývaná základná odrazová vrstva, deponovaná na pripravený povrch substrátu. Hliníková vrstva s hrúbkou približne 70 nm a základnou odrazivosťou cca 91 %, úplne zabezpečuje optické vlastnosti pripraveného povrchu. Táto základná odrazivosť môže byť ďalej zlepšená deponovaním dvojice vrstiev na základnú vrstvu, ktoré zvyšujú reflexivitu. Hrúbka oboch vrstiev s nízkym i vysokým indexom musí byť približne λ/4n, kde λ je centrálna vlnová dĺžka viditeľného svetla, a n je index lomu použitého materiálu vrstvy. V niektorých prípadoch veľmi tenká vrchná vrstva slúži ako prídavná ochrana konečného povrchu, bez vplyvu na spektrálnu reflexivitu.

POVLAKOVANIE MEDENÝCH PÁSOV
Meď má dve dôležité vlastnosti: jej tepelná vodivosť je veľmi vysoká a jej elektrický odpor je veľmi nízky. Z tohto dôvodu sa používa meď pre technické aplikácie, ktoré vyžadujú dobrý prenos tepla na účely chladenia alebo kúrenia. Medené pásy sú základným materiálom pre ploché solárne kolektory. Pre tieto aplikácie medené pásy musia byť povlakované solárnymi absorbujúcimi vrstvami [13]. V súčasnosti povlakovacie zariadenia sú s obmedzenou produktivitou, s použitím rôznych PVD technológií a pre rôzne systémy vrstiev. Vysokorýchlostné reaktívne EB-PVD procesy s dopravou pásu typu vzduch-vzduch otvárajú možnosť hromadnej ziskovej priemyselnej výroby solárnych absorbérov s ročným výkonom na hranici cca 3 – 4 miliónov m2 [5].

TECHNOLÓGIE POVLAKOVANIA KOVOVÝCH PÁSOV
Naparovanie (evaporation)
Naparovanie, a to najmä elektrónovým lúčom ((EB-PVD – Electron beam physical vapor deposition), je najužitočnejší PVD proces pre nízko-nákladové povlaky na veľké plochy. Kombinácia odparovania s výkonnou plazmou je efektívna možnosť ovplyvniť vlastnosti vrstvy v širokom rozsahu [14]. Najmä tým, že prostredníctvom naparovania elektrónovým lúčom a teplotného prúdového (tryskového) naparovania (thermal jet evaporation) môžu byť dosiahnuté veľmi vysoké rýchlosti nanášania povlaku – rádovo niekoľko μm/s. V súlade s tým, tieto procesy v zásade možno aplikovať pre kontinuálne povlakovanie oceľových pásov. V porovnaní s konvenčnými PVD procesmi nanášania, majú výhodu vysokej flexibility, pokiaľ ide materiály povlakov, ktoré majú byť deponované a nezávadnosť pre životné prostredie. Umožňujú rýchlosť do 200 m/min, najmä pri depozícii kovov a oxidov, napr. Cr, Ni, Ti, Mg, SiO2. Od začiatku deväťdesiatych rokov minulého storočia niekoľko pilotných a výskumných zariadení pre povlakovanie pásov bolo inštalovaných pre testovanie povlakov deponovaných za podmienok blízkych prevádzkovým. Tieto povlakovacie zariadenia boli buď pre jednotlivé dávky alebo boli už vybavené systémom pre dopravu pásu typu vzduch-vzduch.
Do priemyselnej výroby sa zavádzajú vysoko produktívne vzduchové (air to air) povlakovacie zariadenia pre povlakovanie kovových pásov, valčekové (roll-to-roll) povlakovacie zariadenie pre plastové sieťovie (plastic web) alebo tenké kovové fólie, rovnako ako povlakovacie zariadenie pre kontinuálne povlakovanie (inline carrier coaters) pre rôzne substráty. Axiálny typ vysokovýkonného elektrónového dela s menovitým výkonom niekoľko 100 kW pri 60 kV je dostupný pre generovanie pary vysokej hustoty [15].
Schéma a pohľad na modulárnu kontinuálnu pilotnú linku s inovatívnym čistením povrchu a povlakovaním oceľového pásu šírky 300 mm, hrúbky max. 0,7 mm, pri rýchlosti povlakovania max 60 m/min pri aplikácii povlaku na jednu stranu pásu inštalovanú centrom pre povrchové úpravy DOC Dortmunder OberflächenCentrum v spolupráci s ThyssenKrupp a niekoľkými ďalšími partnermi z priemyslu a výskumných ústavov je na obr. 2 a obr. 3 [5], [7], [17].

Obr. 2: Schéma usporiadania modulárnej kontinuálnej pilotnej linky pre realizáciu inovatívneho čistenia a povlakovania povrchu oceľového pásu [7]

Obr. 3: Modulárna kontinuálna pilotná PVD linka pre povlakovanie oceľového pásu [17]

 

Bolo vynaložené veľké úsilie pre kombinovanie vysoko rýchlostného EB-PVD s procesmi generovanými plazmou pre aktiváciu generovanej pary. Priemyselný prielom závisí na potenciáli dlhodobej stability procesu a rozsahu veľkosti plochy kombinovaného procesu, ako aj hmotnej dostupnosti a nákladovo úsporných riešení. Zavádzajú sa dve verzie kombinovaných procesov, ktoré sú vhodné pre splnenie týchto požiadaviek: depozícia aktivovaná oblúkom (Spotless arc activated deposition – SAD) a kombinácia odparovania elektrónovým lúčom s procesom magnetrónového naprašovania (EB-Mag proces) [15].

Reaktívne pulzné magnetrónové naprašovanie (Reactive pulsed magnetron sputtering)
Reaktívne pulzné magnetrónové naprašovania je tiež užitočný proces pre veľkoplošné povlakovanie. Predúprava substrátu vo vákuu je nevyhnutná pre PVD povlakovanie, pričom tento proces zahŕňa oveľa viac než len čistenie substrátu [3].
Procesy magnetrónového naprašovania s veľkoplošnými magnetrónmi sú používané v širokom rozsahu u optických povlakov na skle a plastových sieťoviach s infračervenými bariérovými vlastnosťami alebo ako transparentné vodivé vrstvy pre displeje a solárne bunky. Veľkoplošné magnetronové naprašovanie našlo uplatnenie pri povlakovaní kovových pásov pre rôzne aplikácie s nízkou rýchlosťou alebo tenkovrstvových procesov, menovite solárne absorpčné vrstvy a vysoko reflexné povlaky. Princíp procesu magnetrónového naprašovania pre pokovovanie pásov je na obr. 4.

Obr. 4: Princíp procesu magnetrónového naprašovania pre pokovovanie pásov [5]

 

Prúdové naparovanie (Jet evaporation technique)
Prúdové naparovanie je PVD proces obzvlášť vhodný pre odparovanie nízkotaviteľných materiálov, ako je Zn alebo Mg, a ponúka veľmi vysokú rýchlosť nanášania až do 10 μm/s. Princíp JET procesu odparovania s radiačným ohrevom téglikov je znázornený na obr. 5.

Obr. 5: Princíp PVD procesu Jet-evaporation [5]

 

Téglik sa skladá z grafitu vysokej hustoty; je uzavretý, pripojený ku krytu substrátu úzkou tryskou. Okrem téglika môže byť zahrievaný aj grafitový kryt a umožňuje využitie pár na cca 95 %. Veľkokapacitné ohrievače téglikov a krytu substrátu môžu byť samostatne riadené tak, aby sa zabezpečili výhodné teplotné profily. Kapacita téglika je pre cca 4 t zvitkov. Vykurovací systém umožňuje riadiť a udržiavať stabilizovanú teplotou a konštantné podmienky povlakovania počas doby procesu po fáze ohrevu. V dôsledku optimálnej konštrukcie geometrie trysky je hrúbka povlaku rovnomerná pozdĺž šírky pásu s toleranciou ≤ ± 10 % [5].
V predchádzajúcich rokoch boli čierne povlaky deponované elektropokovovaním, vrátane čierneho chrómu, čierneho niklu, čierneho zlata, čierneho ródia. Niektoré z týchto povlakov boli nahradené čiernym povlakom DLC (Diamond Like Carbon – diamantu podobné vrstvy). Čierny povlak DLC je často používaný pre aplikácie zvýšenia odolnosti proti opotrebeniu. Mnoho DLC povlakov je produkovaných reaktívnym magnetrónovým naprašovaním. DLC povlaky typu tetra-amorfný uhlík sú vyrábané rozprašovaním alebo katódovým oblúkom. Môžu byť veľmi tvrdé, ale aj krehké v dôsledku vnútorného pnutia. Iný typ amorfného hydrogenizovaného (a-C:H) uhlíka je hrubší, nie je tak tvrdý, ale je odolný voči korózii. Ostatné DLC povlaky môžu obsahovať niektoré diamantové mikroštruktúry. V oblasti solárnej energie je možné použiť PVD povlakovacie zariadenie, ktoré používa také povlaky ako čierny chróm a čierny nikel, oxidy kovov pre povlakovanie kovových pásov pre kolektory.
Veľkoplošné povlakovacie zariadenie pre povlakovanie solárnych absorbérov je na obr. 6 [3].

Obr. 6: Povlakovacie zariadenie pre povlakovanie kovových pásov pre solárne absorbéry. Používa sa pre výrobu reflektorov a absorbérov solárnych termických kolektorov. Šírka pásu je 1,250 m. Kapacita zariadenia je 6 miliónov m2/rok. [Von Ardenne, Drážďany, Nemecko] [3]

 

Elektromagnetická levitácia (Electromagnetic levitation – EML)
Elektromagnetická levitácia je nová technológia vysokorýchlostného PVD procesu pre pokovovanie kovových pásov [16]. Po dobu asi troch desaťročí je zjavný rastúci záujem o možnosti povlakovania pásu v plne kontinuálnych alebo semi-kontinuálnych PVD povlakovacích procesoch. Magnetrónové naprašovanie sa stalo prevládajúcou technológiou pre depozíciu tenkých vrstiev (~ < 100 nm) na báze polymérnych navalcovaných a tenkých kovových fólií. Avšak, rýchlosť nanášania magnetrónovým naprašovaním je príliš nízka na to, aby bola ekonomicky zaujímavá pre kovové plechy a pásy. Zdá sa, že vysoko rýchlostný elektrónový lúč (EB-PVD) ako aj technológia technológia prúdového odparovania (jet vapour deposition – JVD) predstavujú tú správnu technológiu vzhľadom na vysoký tlak pary alebo nízky bod varu kovov ako zinok a horčík. Nový proces – elektromagnetická levitácia vysokorýchlostného PVD procesu pre kovové pásy (levitácia, odparovanie a depozícia vybraných kovov a zliatin) – vyvinutý v spoločnosti Corus, zmierňuje niektoré nevýhody a kombinuje výhody oboch procesov EB PVD a JVD. Proces je založený na dobre známej technológii levitácie vodivých materiálov vo vysokofrekvenčných elektromagnetických poliach – obr. 7 a obr. 8.

Obr. 7: Schéma EML-PVD zdroja odparovania [16]	Obr. 8: Kontinuálny posuv Al drôtu, jeho natavenie a levitujúca kvapka roztaveného hliníka [16]

 

Správnou konštrukciou indukčnej cievky môže byť dosiahnutá vysoká hustota výkonu a kovy s nízkymi tlakmi pár, ako je hliník, nikel a meď, ako aj zliatiny, môžu byť ľahko odparené. Produkovaná para je vedená na substrát navrhnutým distribučným systémom pary, ktorý zabezpečí rovnomernosť povlaku a vysoké využitie pary. Jednou z výhod tejto technológie je vytvorenie plazmy v priebehu odparovania. Spolupráca spoločností Corus s Posco naznačuje ďalší nárast využitia tejto technológie, technickú a ekonomickú realizovateľnosť aplikácie povlakov na kovový pás i vylepšenie tejto technológie. Táto technológia môže byť veľmi cennou aplikáciou aj v ďalších oblastiach PVD povlakov, napr. v povlakovaní tvarových plôch [16].

ZÁVER
Prezentovaný článok poskytuje prehľad o metódach a technológiách vákuového PVD povlakovania kovových pásov, konkrétne oceľových, hliníkových a medených s uvedením ich funkcie a vlastností. Bližšie sú popísané PVD technológie, medzi ktoré zaraďujeme naparovanie, reaktívne pulzné magnetrónové naprašovanie, prúdové/tryskové naparovanie, elektromagnetickú levitáciu. Každá technológia povlakovania je využívaná pre konkrétnu oblasť priemyslu a pre dosiahnutie špecifických vlastností pre takto povrchovo upravený materiál.
Nové požiadavky pre funkčné povrchy v automobilovom priemysle a pri solárnych aplikáciách nemôžu byť splnené iba aplikáciou konvenčných povrchových úprav. Významný progres zdá sa, môže byť dosiahnutý PVD/ CVD technikami. Sľubnou je kombinácia konvenčných a inovačných PVD procesov. PVD povlaky na kovových pásoch sa dostávajú stále viac do centra pozornosti výskumníkov, výrobcov pásov a ich užívateľov. Jednoduchá kombinácia rôznych materiálov povlakov na oboch stranách pásov, povlaky s kovmi a keramikou ktoré nie sú aplikovateľné elektropokovovaním, flexibilné a ľahko meniteľné produkty, to sú významné výhody pri aplikácii PVD procesov v kombinácii s environmentálnymi procesmi. Článok ukazuje že PVD technológie pre kontinuálne povlakovanie kovových pásov sú na ceste na trhy, rovnako ako v aplikáciách s vysokým výkonom.

Poďakovanie
V príspevku sú prezentované poznatky z riešenia projektov VEGA č. 1/0117/15, VEGA č. 1/0824/12 a VEGA č. 2/0061/14.

LITERATÚRA
[1] HAGAROVÁ, M., JAKUBÉCZYOVÁ, D.: Metodiky určovania vlastností PVD povlakov aplikovaných PVD technológiami. Tribotechnika, 7, 2, 2014, 56-59.
[2] METZNER, CH., GOEDICKE, K., HOETZSCH, G., SCHEFFEL, B., HEINSS, J. P.: Electron beam-PVD for enhanced surface properties on metallic strips and sheets. Surface and Coatings Technology. 94- 95 (1997) 663-668.
[3] LAMPERT, C.: Vacuum Deposition and Coating Options. Products Finishing. [online] [cit.2015-03-03] Dostupné na: http://www. pfonline.com/articles/vacuum-deposition-and-coating-options.
[4] REINHOLD, E., Richter, J., Seyfert, U., Steuer, C.: Metal strip coating by electron beam PVD – industrial requirements and customized solutions. Surface and Coatings Technology. Volumes 188-189, 2004, p. 708-713, Proceedings of the 31 st International Conference on Metallurgical Coatings and Thin Films.
[5] Seyfert, U., REINHOLD, E., Richter, J.: Industrial PVD solutions for metal strip coatings. Proceedings of the 19th international conference on Surface modification technologies. Surface modification technologies. Minnesota, USA, 2005, p. 41-47.
[6] SCHUHMACHER, B., MUSCHENBORN, W., M., STRATMANN, M., SCHULTRICH, B., KLAGES, C. P., KRETSCHMER, M., SEYFERT, U., FORSTER, F., TILLER, H. J.: Novel coating systems and surface technologies for continuous processing of steel sheet. Advanced Engineering Materials 3 (2001) No. 9, 681-689.
[7] SCHUHMACHER, B.; SCHWERDT, CH.; SEYFERT, U.; ZIMMER, O.: Innovative steel strip coatings by means of PVD in a continuous pilot line: process technology and coating development. Surface and Coatings Technology 163-164 (2003) 703-709.
[8] ZDRAVECKÁ, E.; TKÁČOVÁ, J., TKÁČ, J.: Tribologické povlaky pre tvárniace nástroje. In: Strojárstvo. Roč. 18, č. 11 (2014), s. 116-118. ISSN 1335-2938.
[9] ZDRAVECKÁ, E., TKÁČOVÁ, J.: Application of PVD coatings on stamping dies. In: Nanotechnológie a tribológia: odborný seminár: 11. december 2013, Košice. – Košice: TU, 2014 S. 36-44. – ISBN 978- 80-553-1635-2.
[10] ZDRAVECKÁ, E., MARTON, M., GMITERKO, A., TKÁČOVÁ, J.: Triboanalysis in Industry for PVD-coated Stamping Dies. In: Tribology in Industry. Vol. 36, no. 1 (2014), p. 3-8. – ISSN 0354-8996 Spôsob prístupu: http://www.tribology.fink.rs/ journals/2014/2014-1/1.pdf...
[11] GUZMAN, L.; WOLF, G. K.; DAVIES, G. M.: PVD–IBAD zinc coating development for automotive application. Surface and Coatings Technology 174-175 (2003) 665-670.
[12] KUSTER, H. et al.: Optical coatings on Al-strip. In: Proc. 2nd Internat. Symp. Coating of metallic strips and sheets; 2002.
[13] MILDE, F., DIMER, M., HECHT, CH., SCHULZE, D., GANTENBEI, P.: Large-area production of solar absorbent multilayers by MF-pulsed plasma technology. Vacuum Volume 59, Issues 2-3, November 2000, Pages 825-835 Proceedings of the Fifth International Symposium on Sputtering and Plasma Processes.
[14] METZNER, C.: New Trends and Developments in Large Area PVD Coating of Metal Strips in Europe. 30th International Conference on Metallurgical Coatings and Thin Films, ICMCTF 2003. Proceedings: 2003, Elsevier, 2004 (Thin solid films 447/448.2004).
[15] REINHOLD, E., FABER, J.: Large area electron beam physical vapor deposition (EB-PVD) and plasma activated electron beam (EB) evaporation – Status and prospects. Proceedings of the 38th International Conference on Metallurgical Coatings and Thin Films (ICMCTF 2011). Surface and Coatings Technology. Vol. 206, Issue 7, 2011, p. 1653-1659.
[16] BAPTISTE, L. et al: Electromagnetic levitation: A new technology for high rate physical vapour deposition of coatings onto metallic strip. Surface & Coatings Technology 202 (2007) 1189-1193.
[17] ThyssenKrupp techforum: ThyssenKrupp AG, Corporate Center Communications, Strategy & Technology, 1 (2009), 93 p. ISSN 1612-2771.

TEXT/FOTO ING. JANA TKÁČOVÁ,PHD., ING. DAGMAR JAKUBÉCZYOVÁ, CSC., ING. JÁN TKÁČ, PHD.